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技术数据
入口法兰 DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K
抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100)
N2 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1)
He 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1)
H2 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1)
压缩比
N2 >1 × 1011
He 1 x 106
H2 5 x 104
极限压力 (mbar)
带有 RV 前级泵 ISO/CF <5 x 10-9 / 5 x 10-10
带有隔膜前级泵 ISO/CF <5 x 10-8 / 5 x 10-9
出口法兰 DN16NW
推荐前级泵* RV5/nXDS5i
排气口 1/8 英寸 BSP
吹扫口 1/8 英寸 BSP
较大连续进气口压力（轻气体泵送）
